目前对小型精密平面磨床的评估主要有四种方法：方格法、对角线法、最小二乘法和最小包容区域法。前两种方法处理比较简单，在工程现场上应用较多，但其结果存在偏差。最小二乘法也是一种简单快捷的近似评估方法，易于计算机编程实现，其评估结果误差相对较小。最小区域法符合国标规定的最小条件原则，其评估结果唯一且比前几种方法都精确，故而最受重视，实在现相对较为复杂，很多学者采用了各种不同算法来实现该方法。
小型精密平面磨床在进行最小区域法实现时，各种文献提供了数十种求解算法逐次两点误差分离方法是以采样公式为分析处理基础的，但在实际系统中，由于各种因素的影响，采样获得的传感器信息中不仅包含运动副误差和丈量平面外形误差，而且还带有各种噪声信号。理论分析和实验研究情况表明，影响采样数据的误差源很多，如漂移误差、随机噪声误差、采样量化误差、摆角误差、各种低频振动、导轨运动不平稳等。对于大型 CNC超精密平面磨床而言，影响在线丈量系统精度的因素主要有以下，几项：漂移误差、随机噪声误差、传感器电源及导轨气源波动、机床振动.